这个学霸过于自律 第385节
只见从多个激光设备中,同时发射出一束高强度且高重复频率的近红外激光,在照射到高速旋转的光源靶盘上后,激光在每一个点上瞬间激发耦合态。
辐射出稳定的极紫外光。
与此同时。
贺鹏涛和丁顺安两位院士,也难以继续保持平静,面部表情上隐隐浮现出激动之色。
目光牢牢紧盯着,屏幕中实时反馈的数值。
甚至下意识念出声来。
“辐射出的光源波长,依旧为13.5纳米,属于极紫外光波段。”
“输出光源稳定在80瓦……”
“120瓦……”
“200瓦……”
……
“250瓦,我们验证成功了!”
随着期望的数字终于出现,在声音落下瞬间,制室内顿时爆发出热烈的掌声,庆祝这一里程碑式重要时刻。
“我早就说过,徐总师的方案没问题。”贺鹏涛待大家的掌声落下,抬手轻擦了下湿润的眼角,毫不掩饰堆在脸上的喜悦之情。
旁边的丁顺安,同样内心激动不已。
视线依旧锁定在那台毫米级演示装置上,心情复杂连连感慨。
“从我国开始重点研究光刻机,到现在多少年了,总算实现了可商用的,足以领先世界的核心光源系统,我这辈子没啥遗憾喽。”
“才只是成功验证了核心光源系统,你就没遗憾了,起码也要看到咱们的极紫外光刻机问世。”贺鹏涛笑着接过话茬,跟在丁顺安后面补充了两句。
丁顺安附和道:“有徐总师在,这是迟早的事。”
说完两人转头看向徐铭。
“徐总师,请允许我代表所有光机所人员,由衷向你表示感谢。”贺鹏涛最先开口道:“没有你的物理理论,我们根本不可能这么快,便攻克稳定功率的极紫外光源。”
“仅这一项理论成果,就起码让咱们少走了几年,甚至十几年的弯路。”丁顺安也没沉默。
面对两位院士的如此称赞,徐铭反应更快,连忙出声回应。
“两位院士言重了,既然这个担子交给我,那我自然会尽最大努力做好。”
“何况后面还有更重要的工作,需要我们大家完成。”
把热烈氛围推向高峰。
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接下来的时间,实验室交给了潘耀负责。
继续进行光源实验,好记录更加详细的数据,用于之后极紫外光刻机核心光源系统的组装。
徐铭则和贺鹏涛与丁顺安两位院士,来到办公室安排后续工作。
“下一步我们微电子装备,就会正式把新的极紫外光源技术,应用到光刻机的核心光源系统上,另外双工件台控制系统和计量检测系统,也都在同步的攻坚中,这些年集团的研究可不是一点成果没有。”
办公室内丁顺安首先发言,在讲到最后一句时,能感受到话语中的自信。
春城光机所擅长光刻机的核心光源系统,微电子装备却是主攻其他部件技术。
尤其作为国产光刻机主力研发团队,肯定在部份领域也有着独到之处,甚至并不落后海外技术多少。
如今最困难的极紫外光源被顺利解决,就好比在两截道路中间的大山中,打通了一条可通行的隧道,当车辆全速行驶起来,距离终点站又岂会远。
贺鹏涛虽来自春城光机所,但对于微电子装备方面的研究还是比较认可的。
尤其现在还进行了资源整合。
闻言也当即讲出自己的看法和决心。
“眼下我们有了极紫外光源,并且还是比轰击锡滴更加高效容易的技术,根据国内技术整体评估,我看最多两年时间,就能成功组装出首台国产极紫外光刻机。”
“阿斯麦公司的新一代极紫外光刻机,恐怕也会在两三年时间内发布。”丁顺安想到什么接过话茬补充。
贺鹏涛笑呵呵回复句。
“那就刚好比一比,看看谁的极紫外光刻机,综合性能更加领先。”
徐铭听完两人的对话,嘴角也不由得微微上扬,对阿斯麦公司的光刻机,还真涌现出些许期待。
他也想看看,采用了全新物理现象理论,研发出的极紫外光刻机究竟能达到何种水准。
估摸着拿下阿斯麦在行业中的地位,恐怕不会太难。
思维思忖至此,他很快轻微摇了下头,暂时把这件事抛在脑后,主动提起接下来的正事。
“后续极紫外光刻机的研发,就还拜托贺院和丁院来坐镇负责了,如果遇到什么技术瓶颈的话,随时通知我参加研讨会商议解决方案。”
“等璇玑系统的开发稳定后,我会多关注这边的。”
目前全新随机几何分析框架的构建,正值最后的关键几个证明步骤。
等完成此理论,便能正式着手开发新的算法。
在这种情况下,他肯定不能逗留在微电子装备,今天下午就要赶回燕京继续推导。
主要璇玑系统和光刻机,都是高端芯片制造产业链中的重要环节,只不过一个属于前端一个属于后端。
想实现百分之百国产化升级,就必须把璇玑系统和国产极紫外光刻机,同时研发出来才行,否则单独离开哪项都无法发挥出自身的作用。
无论贺鹏涛还是丁顺安,他们自然都清楚,璇玑系统的重要性。
不过在听完徐铭这番话之后,互相对视一眼,依旧能看出彼此瞳孔中的疑惑。
本以为徐铭选择把精力放在新一代EDA上,只是借助总设计师的身份,好让国内EDA公司更好整合技术,加快全新一代极紫外光EDA工具算法问世。
结果在璇玑系统项目发布后,他们才意识到,徐铭不单单是负责人那么简单。
而是亲自参与了璇玑系统的开发。
很难想象只是有着被燕大信院培养的经历,如何能去完成复杂庞大的EDA软件。
要说一点不担忧,那绝对是假的。
毕竟这要是等国产极紫外光刻机问世,配套的璇玑系统却迟迟无法完成,说不定反倒成了为海外做嫁衣。
若当初徐铭转到信息算法领域也就罢了,关键精力基本全在数学和物理学科上。
于是念头在脑海中快速闪过下,贺鹏涛院士实在没忍住心里的好奇,主动开口向徐铭确认了一句。
“徐总师。”
“你真的在参与璇玑系统的开发工作?”
说着便把目光牢牢锁定在徐铭身上,迫不及待等待徐铭的回答。
就连旁边的丁顺安也是同样动作。
徐铭看到两人表现,自然猜到他们在担心什么,不过话到嘴边却只是点头承认下来。
其余并未过多解释。
“没错。”
他暂时卖了关子,紧随其后又笑着补充。
“你们可要多加油才行,否则璇玑系统到时候,可会比国产极紫外光刻机先发布。”
不多时。
当一些工作安排交接完成,徐铭便不再继续逗留,很快离开动身返回燕京。
大家在恋恋不舍的,目送徐铭身影,从自己视野中消失之后,贺鹏涛和丁顺安选择短暂留在原地,回想起刚才办公室里的话开口交流。
“老贺,你说徐总师,能开发出璇玑系统吗?”
“徐铭的天赋你又不是不知道,既然他有这个把握和底气参与,说不定真会在信息算法领域也做出贡献。”
“眼下咱们的当务之急,是要尽快组装出,首台国产极紫外光刻机,我可不想被燕京那边领先。”贺鹏涛笑着丢下这句话便转身离开不再言语。
只有丁顺安不知想到了什么,望着徐铭离开的方向低声感叹一句。
“若是在信息算法领域也这么强,那可就太恐怖了。”
……
针对250瓦稳定极紫外光源的验证成功,微电子装备这边依旧没有选择隐瞒,在第二天的上午便通过专门注册的官方账号进行宣布。
同时还面向全网,征集国产极紫外光刻机的名字。
距离公布璇玑系统项目,才过去两个月左右,在极紫外光源上又取得了重大突破。
对网友们来说,无疑是最大的惊喜。
越发相信国产极紫外光刻机,用不了多久,就会面向国际舞台发布。
情绪高涨激烈之下,大家踊跃参与名字征集,最终经各方面综合考量,将百分之百国产的,首台极紫外光刻机命名为‘逐光’系列。
而随着璇玑系统和逐光的先后公布,海外主流媒体也终于有些意识到不对劲。
无法想象号称人类文明科技结晶的光刻机,其核心光源系统为何如此简单,前后不过几个月的时间便被攻克。
这种进展速度,不由得让人联想到,当初突然首飞并在极短时间内服役的歼20战斗机。
