这个学霸过于自律 第406节
远超过当前国内的光刻胶水平。
而正当他思维快速运转，脑海中一直想着流片结果时，耳旁突然响起徐铭的熟悉声音。
“我们要看的，不是能不能做出图形，而是现实与预测的偏差，究竟有多少原子。”徐铭看向周启深院士，神情很是认真的接话，他对流片数据的要求，远比现场人要高。
如果说其他人的目标，是芯片制造技术，追赶上阿斯麦设备的产品。
那么他则是要超过。
况且在付出这么多努力和心血后，想达成这一点，也并非是什么不可能做到的事。
余高远对徐铭的了解，无疑要比现场任何人都深。
他在听到这句话，当即应和道：“有你的这句话，我对流片结果可是更加期待了，看来又要给我惊喜。”
众人之间的交流并未持续多久，很快就又被流片过程吸引。
目睹百分之百国产化，正在运行的逐光极紫外光刻机，团队士气越发高昂。
由于整个流片过程，包括光刻和刻蚀，以及沉积等数十道工序，且被严密监控，因此往往要历时数周时间才能结束。
面对这种情况，大家毅然留在微电子装备。
都想第一时间看到流片数据，也好见证国内芯片制造历时上，真正里程碑时刻。
……
很快来到月底。
高考结束分数陆续出炉，准大学生开始填写志愿，选择自己心仪的高校专业。
如果这时候去参加，各地举行的招生活动，则会发现燕大所在展台位置，基本上一个学生和家长都没有，但偏偏被旁边的箐华等，学校招生老师羡慕的不行。
没办法。
正所谓树的影，人的名。
在徐铭这张金字招牌下，燕大已然成为，全国最顶尖的高校。
彻底把箐华甩在后面。
甚至放眼国际，燕大也的地位排名，也在以肉眼可见的速度，每年持续上涨。
特别是有着‘疯人院’美称的数院。
有这些因素在，能够上燕大的学生，根本不会纠结犹豫。
自然用不着参加这种活动。
放前几年的时候，徐铭偶尔还会帮忙为学校招生宣传，毕竟在他那一大堆头衔中，最开始的可是燕大数院教授。
不过今年肯定是没有这个时间。
6月27日，周二，微电子装备集团总部。
今天光学测量实验室内，要比以往任何时候都要热闹，尤其人员上更是打破记录。
因为在外面房间内，愣是聚集了大十几个身影。
且有将近一半，都为院士。
目前用于流片的晶圆片已完成制造，被送入了光学测量实验室，进行关键的光学测量和电子显微镜检测，这能够得到详细的流片数据，以及芯片良品率。
众人眼下待在这里，正是想第一时间知道结果。
明明面积不大的房间内，大家几乎紧挨着坐下，却愣是安静的很。
纷纷保持着沉默。
谁都没有率先开口打破僵局。
显然心情都很紧张。
直到房间门外突然响起一阵敲门声，瞬间让众人同时抬起视线望去，心脏仿佛都跳快了不少。
平时一向稳重的院长余高远，更是首先脱口喊话。
“进来。”
穿着实验服的科研人员推门进来，手中拿着份崭新出炉的报告，脚步才刚迈进房间，便迫不及待开口汇报。
“徐总师，各位院士领导。”
“晶圆片的光学测量数据结果出来了……”
“直接讲吧。”徐铭闻言立刻出声，把对方的话给打断。
而这个时候，那位科员人员也没有耽搁，仅短暂顿了一秒，忙详细讲出报告中的数据。
“根据测量结果显示，逐光分辨率完全达标，光学成像能力优秀，各层图案对齐良好，另外光刻机的机械精度达到预期。”
当徐铭以及贺鹏涛和丁顺安，等微电子装备科研人员，听完这番话后，原本悬着的心总算彻底放下，证明逐光国产极紫外光刻机主体研发成功。
标志着国内终于拥有了，百分之百国产化的，高端极紫外光刻机。
不过大家并没有在这个时候鼓掌庆祝，反倒是强压住心中激动，继续听后面的其他流片数据项目结果。
……
第245章 你难道连这个也懂
“继续讲吧。”
徐铭点点头重新看向对方，示意往下接着报告。
这时旁边的余高远，同样没有耽搁，迫不及待也跟在后面附和上一句。
“对。”
“快说下其他测试项目情况？”
迎上现场所有人目光的实验室工作人员，因紧张下意识咽了口唾沫后，随即接着念出手中报告后面的内容。
“线条边缘粗糙度出现异常，LER的测量值，普遍比璇玑系统预测高出30%。”
随着这句话讲出，房间内的氛围顿时一变。
原本还浮现在脸上的笑容，瞬间便消失不见，就像是大冬天突然被浇了盆冷水。
没想到首次全链路功能验证流片，还是不可避免的出现了问题。
而神情变化最大的，则要属化学研究所人员，尤其是周启深院士。
旁边华天科技公司工程师，也微微有些皱眉。
从刚才的测试结果来看，国产逐光极紫外光刻机，主体研发成功没有问题，在线条边缘粗糙度上，出现这么大数值的偏差，原因大概率在光刻胶或者算法工具，说明仍旧存在没有发现的错误。
正当大家陷入沉思时，只见周启深一个跨步，来到那位实验室人员跟前，迅速接过数据报告认真查看起来。
视线约莫移动了几行内容，口中不由得低喃出声。
“线条边缘在显微镜下，呈现出颤抖的毛边形态，并非预测中的光滑刀刃。”
“我们的光刻胶刚完成技术升级……”
“不应出现这种情况才对？”
话音还未完全落下，华天科技董事长孙庆丰，几乎下意识脱口接上一句。
“璇玑系统是由徐总师亲自带领大家开发，预测的数值绝对能够保证精度。”
“没错。”苏振豪闻言也点了点头。
他全程见证了，徐铭亲自参与璇玑系统开发，深知其核心算法和模型的技术程度，是绝无例外的远远领先于海外三大EDA公司产品。
贺鹏涛与丁顺安等微电子装备这边，按理说应该会逐光极紫外光刻机的成功高兴，但突然出现这种情况，心里涌现出几分担忧。毕竟无论光刻机还是光刻胶，亦或者璇玑系统软件，都是为了制造高端芯片服务，任何环节出现问题所带来的结果一样。
那就是生产线无法启动。
至于院长余高远，和其他领导，因未具体参加项目。
面对稍专业的内容，无法做出判断。
只得把目光投向，身为总设计师的徐铭。
将大家的反应看在眼里，徐铭这时却并不意外，相反早就做出了类似情况的措施。
不管怎么说，这都是首次进行全链路流片验证，中间涉及到的因素实在太多太多，纵使发生状况也属于很正常的一件事情。
要知道在极紫外光刻机领域，国内可没有什么流片的具体经验。
在这件事上，还是要承认海外优势的。
念头停留在这里，他目光在众人身上扫过，接下周院士递来的报告，垂眼快速浏览完后，依旧无比镇定的讲出自己的相关判断。
“可能是工艺波动，或者测量误差，先等电性测试结果出来吧。”
“结果预计多久？”后边这句是对实验室人员说的。
“报告徐总师，电性测试也在进行中，下午应该就应能有详细数据出来。”实验室工作人员连忙沉声回答。
“那好。”
“大家就再耐心等等吧。”徐铭收回目光看向大家说。
眼看后续方向明确下来，余高远也不再沉默，主动接过话茬帮助大家调整好心态。