美利坚：目标掀翻洛克菲勒 第1063节
“没错，就是加州。”恩斯特肯定道。
“屏幕问题，可不是纳科N100一款手机的问题，诺基亚的彩屏机型，难道就不存在在低温强光下屏幕变淡，文字虚化的虚屏缺陷？”
“还有爱立信，我记得他们去年发布的旗舰T28，还被大量用户投诉主板接触不良、无故自动关机、多次维修依旧反复故障的吧？”
“加州也有一批用户，长期被欧洲手机品牌的手机缺陷所困扰，我觉得加州的那些有正义感的律师，是愿意接手这些案件，帮助加州人进行集体诉讼的。”
以其人之道还治其人之身，这次托马斯��梅勒尔听明白了。
彩屏的问题，电池的问题，信号的问题，蓝牙的问题，纳科在欧洲遇到的问题，都能一个个的他套在美国的欧洲手机品牌商身上。
而且恩斯特还来了一个无中生有，比如爱立信去年卖的不错的旗舰机T28。
这款手机是有用户投诉过自动关机的问题，可远达不到恩斯特所说的大量用户的程度。
“我倒是突然想看看，诺基亚和爱立信听到这个消息时的反应了。”托马斯��梅勒尔笑着期待道。
相对来说，欧洲在电子产品上，对消费者的保护还并没有那么的健全，现在还不如美利坚这边。
而加州，又号称是美国消费者集体诉讼的沃土。
因为《加州不公平竞争法》和《消费者救济法案》，对产品虚假宣传、硬件缺陷的集体诉讼极为友好，导致加州在这方面的风险代理律师远超其他州的数量。
这些人专门就是帮助消费者打官司的，也算是秃鹫律师的一种，等胜诉后，拿到一定比例的诉讼赔偿。
“而且我觉得这倒是我们的一个机会，拿到GSM的相关交叉许可协议。”这才是恩斯特看到的好处。
诺基亚为什么能够生产CDMA制式的手机？
因为早在1992年的时候，诺基亚就和高通签署了CDMA交叉许可协议，高通授予诺基亚使用全部CDMA专利的权利，诺基亚每卖出一台CDMA手机，要向高通支付一笔专利费。
摩托罗拉为什么能够生产GSM制式的手机？
是因为摩托罗拉在1986年收购了丹麦的老牌蜂窝厂商Storno，这家厂商当时就在参与GSM的标准制定，后来这支欧洲团队也直接变成了摩托罗拉GSM终端的研发主力。
所以在标准层面，摩托罗拉不光是CDMA标准制式的霸主，也是GSM标准制定的重要成员，拥有大量GSM的必要专利。
可纳科不行，纳科要想开发GSM手机，就必须和摩托罗拉合作，获得摩托罗拉的授权。
虽然萨基姆也有不少GSM手机的专利，可萨基姆还是以军工为主，手机业务就是一个尝试，它的那点专利，都不够塞牙缝的。
纳科要不想未来被GSM厂商和摩托罗拉卡住脖子，正好可以借着这个机会，和诺基亚或者爱立信谈交叉许可协议的问题。
尤其是爱立信，恩斯特觉得在北美想要拿捏它，还是可以的。
第1053章 光刻机突破
都说人倒霉的时候，喝凉水都塞牙，人走运的时候，放屁都崩金花。
整个2001年，从开年到现在，恩斯特就有这种感觉，好事是一件接着一件。
先是纳科从硬件到终端的喜讯连连，爆的一塌糊涂，现在光刻机那边，也传来了好消息。
红木城，贝尔实验室。
任由外界春夏秋冬，雨打风霜，风雨晨昏，这里的温度都是那么的始终如一，死死的焊在了二十二摄氏度上。
后山的三号光学实验室里，昏暗的红光铺满了整间屋子，唯一的亮色，是真空腔体仪表盘上跳动的幽蓝数字，微弱却执拗，就像是黑暗里不肯熄灭的火光一样。
扎卡里��拉塞尔几乎是跪在了减震光学平台旁，上半身前倾着，瞳孔死死的盯着眼前的精密设备上，连呼吸都放轻了不少。
“真空度达标，十的负九次方帕，腔体杂质含量合格。”他的身后，实习生费林的声音小声清亮又带着一丝紧绷的颤抖。
“启动光源。”扎卡里点头开口，紧握的指尖，泄露了他此刻心底的紧张。
费林闻言按下启动键。
嗡����
低沉的设备嗡鸣声瞬间响起，密闭的真空腔体，骤然亮起了一道转瞬即逝的紫白色闪光。
可只有一瞬的爆裂光亮，像流星划破黑暗一样，随即就迅速湮灭在了真空之中，快到人的肉眼几乎都来不及捕捉，好像一抹转瞬即逝的光影残影。
而显示器上，光子计数曲线猛地抬起一个尖锐的峰值后，下一秒便毫无缓冲地断崖式跌落，归零的速度快得仿佛从未出现过一般。
费林看着屏幕上彻底归零的数据，肩膀瞬间垮了下来，眼底有些麻木的“功率还是上不去，单次脉冲能量勉强达标，但持续输出完全达不到曝光要求，和过去一周我们得到的结果没有什么区别。”
过去七天，他们不知道调整了多少次的腔体气压，微调了多少遍的脉冲触发频率，可不管是哪个方案，结果始终没变。
扎卡里倒是一脸的平静，不知道是习惯了还是以此来安慰对方。
他缓缓俯身凑近晶圆载台，隔着双层真空观察窗，凝神看向那块静静安放的光刻胶基片。
基片的表面平整光洁，没有任何的划痕与成像纹路，像一块未经雕琢的顶级璞玉，却直白又残酷地宣告着测试的失败。
极紫外光，波长13.5纳米，人类已知有可能可用于芯片光刻的最短波长之一。
理论上，它能轻松突破两百纳米、一百纳米的制程壁垒，将摩尔定律从光学光刻的瓶颈中彻底解救出来。
可理论的完美，终究抵不过现实的残酷。
“不是设备的问题。”扎卡里缓缓起身“是光源本身的物理瓶颈，我们撞墙了，光源功率明显不足。
“现在是我们能造出光了，却养不活光。”费林低声呢喃，语气里充满了挫败感。
扎卡里看着这个跟了自己一年的实习生，笑着拍了拍他的肩膀，安抚道“科学实验就是如此，从来没有一蹴而就的突破，所有颠覆性的技术，都是在一次次的挫败中，找寻那么一丝渺茫的可能。”
“我们现在的每一次失败，都是在排除一条错误的路径，都是在为最终的成功而铺路。”
“而且我们已经成功了，不是吗？”
迎上费林不解的目光，扎卡里说道“至少我们证明了，13.5纳米的极紫外光可以实现受控、反射、成像，EUV光刻的原理是没有任何问题的。”
这才是至关重要的，是0到1的研究。
科学界有一句名言，只要证明了原理的成立，所有的硬件瓶颈和工程难题，都只是时间与技术问题，没有突破不了的技术。
同一时间，加州，临界半导体子公司，SVG的总部实验室。
如果说贝尔实验室的攻坚，是从物理原理层面验证EUV的可行性，那SVG的探索，就是从工程落地的角度，尝试将这套全新的技术推向实用化。
SVG的首席工程总监罗伯特��肖恩站在超净工作台前，也在双眼紧盯着显微镜下的EUV反射式掩模。
和传统DUV光刻采用的透射式掩模不同，EUV技术的极紫外光无法穿透任何固体材料，几乎所有物质都会吸收EUV光子，因此只能采用这种反射式的掩模，依靠多层膜反射光线，完成光刻成像。
这也是八十年代EUV光刻机的构想提出来时，列举出来的三大难题里的一个，那就是能不能造出可适配量产节奏的反射式掩膜出来。
“累计曝光时长，七分十二秒。”很快，他的助手报出的数据，就把他从惆怅中拽了回来。
“我知道了。”他淡淡的回了一句。
七分十二秒。
仅仅七分钟的EUV曝光作业，这枚造价数万美金，经过数十道精密工艺打磨的掩模，就已经报废了。
在DUV的光刻体系里，一枚合格的光刻掩模，需要支撑数十万次甚至数百万次的持续曝光，能够耐受长时间高能光线照射，保持图案精度的稳定。
而他们现在制作的EUV掩模，连十分钟的稳定工作都无法实现。
“我们一共尝试了三种镀膜方案，两种基底改性工艺，效果都不是很好。”另一边，专门负责反射式掩膜研发的研究员出声说道。
“无论是增加膜层厚度、调整钼硅配比，还是表面抗氧化处理，目前来看，都无法抵御高能光子的持续轰击。”
罗伯特点点头，没有意外。
如果这么好成功，也不至于从EUV光刻理论提出到现在，已经13年了，几乎还在原地踏步。
现在的SVG，其实已经取得了巨大的成功。
“原理通了，架构通了，就是扛不住量产的损耗，但不管怎么样，至少我们证明了，这条路是通的。”
“光学污染那边传来好消息了？”对方惊喜的高呼了一声。
贝尔实验室那边对光源的理论验证成功他是知道的，现在他负责的反射式掩膜，虽然距离商用标准还有十万八千里，可也验证了用反射式掩膜完成光刻成像的可能性。
那么三大难题中，就只剩下一个难题还没有验证过来，就是SVG和贝尔实验室同步进行的光学污染研究问题。
甚至这个问题，比其他两个问题更加的无解。
DUV光刻可以在低真空，常规无尘环境下稳定工作，轻微的杂质和气流扰动，对成像精度的影响微乎其微。
但EUV不行，它的光子敏感度达到了极致，任何微小的杂质、气体分子、微粒残留，都会被吸收、散射、折射极紫外的光子，造成成像的畸变。
问题的关键是，只要设备开机运行，就一定会产生微量溅射物，很多人这么多年质疑EUV，觉得EUV光刻机不现实，就是认为真空腔体无法做到绝对的零杂质。
“不能说完全成功吧，但至少已经有所突破了。”罗伯特嘴角不免的勾起笑了起来，继续说道“我们的真空维持系统，已经能够做到连续运行二十四小时无明显光学污染的程度了。”
马里布，恩斯特得知这个消息的时候，正带着凯丝巡视着这栋未来加菲尔德家族的住宅。
住宅前的喷泉广场上，海风裹挟着太平洋的湿气，拂过整片纯白色的现代建筑群，向西眺望，湛蓝的海面波光粼粼。
想一想以后每天早晨起来，面对的就是这番海天一线，景致开阔的景色，倒是惬意。
现场的负责人告诉他，如果快的话，今年暑期过后，他们一家人就能够搬入这个新家了。
慢的话，今年的圣诞节，他们全家也可能在这里度过。
“也就是说，虽然距离工业量产还有着巨大的鸿沟，不知道什么时候能够实现，光源功率、掩模寿命、光学污染这三大难题短期内还是无法解决，但至少我们完整证明了，EUV原理的可行性，是吧？”
恩斯特低头，对着手机听筒轻声确认道。
“没错。”电话另一头，卡尔��韦勒的声音传来“整套技术的理论闭环已经彻底打通了，所有的核心架构和核心原理都经过了反复验证，没有任何的漏洞。”
“等于我们已经找到了准确的路线，接下来，就是按照这个路线坚定的走下去，从理论验证向工程产业化继续突破就可以了。”
卡尔��韦勒顿了顿，短暂的沉默后，再度开口建议道“如果有可能，我觉得还是加入LLC联盟比较好。”
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